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下面我們來(lái)了解一下精密激光測(cè)厚儀的測(cè)厚原理
兩個(gè)激光位移傳感器的激光對(duì)射,被測(cè)體放置在對(duì)射區(qū)域內(nèi),根據(jù)測(cè)量被測(cè)體上表面和下表面的距離,計(jì)算出被測(cè)體的厚度。
激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地其像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,進(jìn)而可計(jì)算出被測(cè)物體的實(shí)際移動(dòng)距離。
精密激光測(cè)厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)測(cè)量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)亮的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上,產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,兩者之間的關(guān)系:
X、X`--分別是被測(cè)物位移和光敏器件上像斑的位移;
L、L`、α--是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù),是根據(jù)具體使用要求而選定的。
由此可見(jiàn)地測(cè)量X`就可以得到被測(cè)物體的位移量,這就是三角法測(cè)量位移的原理。
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